販売パーツ・機器一覧 | 株式会社ミチナス

各種ポンプのオーバーホール用部品を取り扱っております。型式はお問い合わせください。

冷媒剤、洗浄・脱脂剤を取り扱っております。高品質、低コスト・省エネルギー、高い安全性・環境への配慮有る薬品をご提案致します。

圧し潰して使用する軟質タイプのシール材を主に差し、材質にはゴムを使用するものが一般的です。弊社ではコスト面、材質改善などをご提案可能です。

シール材の中で主に動作の無い部分に使用されるものをGASKET（ガスケット）と呼びます。弊社ではGASEKTやパッキンを各種販売致します。詳細に関しては是非お問い合わせください。

半導体設備に使用されている
石英パーツを取り扱っておりま
す。型式はお問合せ下さい。

落雷などの自然災害がもたらす送電線事故は、短時間で故障を除去して停電を防ぐことはできますが、一時的に電圧が低下すること（瞬低）一時的に電圧が停止すること（瞬停）は避けられません。この瞬低/瞬停に対策をすることで、大幅な生産性の向上が得られます。

半導体設備に使用されているセラミックパーツを取り扱っております。型式はお問合せ下さい。

半導体設備に使用されているSiCパーツを取り扱っております。型式はお問合せ下さい。

真空機器装置において高真空・圧力調整に使用されおります。あらゆる領域（条件）、用途に使用されております。

ESC（Electrostatic Chuck）とは、静電気の力を利用して基板を下部電極に固定する機能を果たします。機械チャックのように粒子汚染の原因となるクランプ（Clamp）が必要ありません。ESCの再生も対応致しますので、お問い合わせください。

大成技研製Hot N2システムは取り付けが簡単なシステムで、超小型のHot N2システムとなります。

Parker製クイックカップリングは取り付けが簡単なカプラーで、高圧の使用にも十分耐える性能を持っています。

高機能樹脂であるTORLON（トーロン）・PEEK製のパーツ、ロールブラシの取り扱いがございます。

弊社では、CMP装置に使用されるパーツのUsed品、Refurbished品、Reused品の販売を行っております。

フォトマスク（Photo Mas）をクリーニングする事で、連続した欠陥を防止します。
ご興味のある方はご相談ください。

ドライエッチング装置にてEdgeRingとBodyの隙間をなくし歩留UPに寄与します。