CMP工程後の洗浄には、PVAローラーブラシが広く用いられている。 表面に、基材と同一のソフトで弾力性のある突起を持つ、洗浄に特化したローラー/シート形状のPVAスポンジです。 素材が持つ優れた耐摩耗性、ソフトな風合いと表面の突起が相まって、ダメージを与えることなく、微小な粒子も効率よく除去します。
