Hot N2システム | 製品カテゴリー | 株式会社ミチナス
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Hot N2システム
Hot N2システム
大成技研製Hot N2システムは粉体による配管閉塞の防止や クライオポンプの再生(リジェネ)によるダウンタイム削減の大きく寄与します。
粉体による配管閉塞の防止を低減
クライオポンプの再生(リジェネ)によるダウンタイム削減
小型なので場所を取りません。
温度もMAX300℃まで対応可能です。
画像一覧を見る
DRY PUMP用パーツ
一般薬品 冷媒剤、洗浄・脱脂剤
O-RING
GASKET
石英パーツ
瞬低対策補機
セラミックパーツ
SiCパーツ
フィッテングバルブ
ESC(再生対応可能)
Hot N2システム
クイックカップリング カプラー
樹脂パーツ
CMP装置用パーツ
Photo Mask Cleaner
エッチング装置用治具
Collar(カラー)
Cool LAMI
ESC
GASKET
Hot N2システム
Membeane(メンブレン)
O-RING
PEEK (ピーク)
Retainer Ring(リテーナーリング)
Roling Seal(ローリングシール)
Roll Brush(ロールブラシ)
SiC
TORLON(トーロン)
TSP
クイックカップリング カプラー
セラミックパーツ
一般薬品 冷媒剤 Opteon(オプテオン)SF10
一般薬品 洗浄・脱脂剤
瞬低対策補機
石英パーツ